18 Фев 2019

Турбомолекулярный насос: назначение, устройство и принцип действия

Данный насос предназначается для формирования и поддержания среднего, высокого и сверхбольшого вакуума. Основой функционирования ТНМ служит сообщение добавочной скорости газу в определённом направлении. Компонентами, заставляющими двигаться молекулы, выступают диски. Разброс значений созданного насосом вакуума может быть от 10-2 до 10-8 Паскалей. Скорость роторного вращения превышает 20 тыс. об/мин.

Для использования ТМН также необходим форвакуумный насос, проводить рабочий процесс без данного дополнения невозможно.

При выборе аппарата для долгой службы пользователи обычно акцентируют внимание на скорости откачивания с целью достижения максимально возможных значений производительности.

В ТМН скорость откачивания определяется исходя из внешнего радиуса роторных ступеней путём расчёта числа углов наклона и первых ступеней скорости вращения. Когда в насосе уже имеется большое давление, его скорость откачивания будет находиться в прямой зависимости от того, с каким эффектом станет функционировать форвакуумный насос. При росте давления на входе трение ступенек у проточной части станет выше, а следовательно, и необходимый объём электричества увеличится многократно. Дальше данный процесс будет способствовать тому, что проточная часть насоса станет более горячей. Необходимо знать, что абсолютно недопустимо уменьшение скорости откачивания аппарата, ведь тогда в агрегате может случиться серьёзный сбой, выводящий всю систему из строя

Для предотвращения такой опасности изготовители агрегата внедрили в него систему, отключающую питание, которая запускается в ситуации, если вращение ротора превысит конкретное значение.

Между статором и валом имеются зазоры, позволяющие газовым молекулам передвигаться в сторону откачки. Такая система стационарных и мобильных каналов создаёт разность давлений и способствует эффективному формированию вакуума.

Важнейшим элементом насоса служит и контроллер, отвечающий за регулировку частоты и иных процессов, влияющих на функционировании аппарата.

Достоинства турбомолекулярного насоса:

предельная степень подготовки к старту работы агрегата;
оперативный пуск, длящийся не больше 15 мин.;
большая степень сжатия;
значительный интервал рабочего давления, который достаточен для реализации множества задач;
не снижается степень продуктивности при резких изменениях давления.